蓝途空调中标中科院上海光机所，助力国产EUV（极紫外光）光刻机研发

近日，蓝途空调以其卓越的解决方案中标中国科学院上海光学精密机械研究所项目，为其实验室提供冷水盘管，助力国产EUV（极紫外光）光刻机取得重要进展，显示了中国半导体行业为追赶世界先进水平的决心和实力。

EUV光刻机工作示意图

据悉，EUV光刻技术是目前全球集成电路制造领域中最具有前景和潜力的先进工艺之一。EUV光刻机，素有半导体制造业皇冠上的明珠之称，而EUV 光源（极紫外光）是其中最为核心的分系统之一。国产EUV的光学系统和控制系统为上海光机所自主设计研发，能够实现1纳米级别的曝光精度，达到国际先进水平。

上海光机所

中国科学院上海光学精密机械研究所（简称中科院上海光机所）是中国建立最早、规模最大的激光专业研究所，成立于1964年，已发展成为以探索现代光学重大基础及应用基础前沿研究、发展大型激光工程技术并开拓激光与光电子高技术应用为重点的综合性研究所。

现代实验室为各专业实验室(物理、化学、生物等)，都离不开中央空调系统加持。不同专业实验室对环境控制需求是不同的，通常需要恒温恒湿，因为实验结果可能会因为温度和湿度的变化而产生误差。实验室中还可能存在大量的化学物质或放射性物质，这些物质的挥发和扩散可能会对人员健康造成威胁。

2006年首台EUV光刻机原型机实验室

物理精密研究实验室，一般为洁净实验室、超净实验室，除了要保持恒定的温度和湿度，还对室内的发尘量与室内发菌量有具体要求，这些都需要专业的空调系统及设备，因此选择具有经济实用、使用灵活、技术先进的系统设计方案至关重要。蓝途空调以其先进的装备制造，服务于业内知名微电子行业大厂、高等院校实验室。中国科学院上海光机所选择与蓝途空调合作，携手迈向中国半导体高端制造的征途，是对蓝途空调的专业性的充分肯定，也为未来的进一步战略合作打下良好基础。

客户考察蓝途冷水盘管生产线